影像測(cè)量?jī)x測(cè)量時(shí)先對(duì)焦對(duì)準(zhǔn),再讀數(shù),最后計(jì)算處理。讀數(shù)來(lái)自于光柵系統(tǒng),對(duì)焦對(duì)準(zhǔn)依靠顯微鏡光學(xué)系統(tǒng),還有一個(gè)有效正確的照明光源直接影響測(cè)量效果和精度。另外環(huán)境條件也是影響測(cè)量精度不可忽視的因素。通過(guò)分析,可以歸納出以下的誤差來(lái)源:
1.光柵計(jì)數(shù)尺的誤差;
2.工作臺(tái)測(cè)量軸垂直度的誤差;
3.工作臺(tái)移動(dòng)時(shí)存在角擺和直線度的誤差;
4.顯微鏡光軸與工作臺(tái)面不垂直產(chǎn)生的誤差;
5.光源照明條件的變化帶來(lái)的對(duì)焦和對(duì)準(zhǔn)誤差;
6.測(cè)量時(shí)室內(nèi)溫度帶來(lái)的誤差。
可以看出很多誤差來(lái)至于硬件誤差,這些在儀器制造過(guò)程中已經(jīng)形成并固定下來(lái),無(wú)法改變,所以選擇一臺(tái)零部件優(yōu)質(zhì),結(jié)構(gòu)完美,控制系統(tǒng)穩(wěn)定,測(cè)量精度高的影像測(cè)量?jī)x很重要。
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