用來檢查量塊或者其它具有同等級(jí)精度平面的測(cè)試件的平面度和研合性。

TESA 單色光單元

為了與光學(xué)單面平晶和光學(xué)雙面平晶配合使用，通過干涉法檢測(cè)測(cè)量面的平面度和平行度。

單色光源可提供高對(duì)比度的干涉條紋。該光源波長(zhǎng)單一，這樣僅亮光條紋可見。

光源在測(cè)量面后邊的情況下，如借助刀口平心尺或刀口尺也可肉眼進(jìn)行檢查。

TESA 量塊：